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            • 石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转化效率和生产效率,经过多年的技术研究和发展,我司现拥有先进的生产设备、技术成熟的设计人员和经验丰富的生产员工,且材料均为进口原料,目前我司所制造的石墨舟具有结构简单、石墨舟片距离合理,使得硅片的镀膜均匀、提高硅片的品质,使得太阳能转化效率高。石金公司有现在市场需要的所有类型石墨舟
              发布时间:2020-10-21 浏览次数:3210
            • 膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据PEVCD石墨舟镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间,片子发白要减少沉积时间,如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认,不允许把不良品流入到下道工序,如色斑、水印镀膜不良,应及时挑出产线最常见的表面发白、色差、白点,其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致,可通过调节膜沉积时间来调整;色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致;白斑主要由于前道
              发布时间:2020-10-09 浏览次数:1610
            • 将新石墨舟及使用超过3 年的旧石墨舟饱和后进行PECVD镀膜,片间均匀性差异如图7 所示。由图7 可知,新石墨舟?表面平整度好,石墨舟片导电性一致,薄膜分子可以均匀地沉积在硅片表面,片间均匀性更优。图8 为新石墨舟在使用周期内的片间均匀性变化趋势图。
              发布时间:2020-08-09 浏览次数:1509
            • 石墨舟清洗 石墨舟烘干 石墨舟预处理(饱和) 石墨舟的维护
              发布时间:2020-07-16 浏览次数:1819
            • 管式镀膜在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,增强光的吸收与钝化作用,镀膜故障部分存在解决时间比较长,分析困难的情况,本文将介绍管式镀膜舟污染异常情况,期待与您共同进步。
              发布时间:2020-06-29 浏览次数:1839
            • 主要区别在于肉眼无法观察的一些细小氮化硅颗粒物的残留导致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差异在3D显微镜状态下测试的氮化硅残留区域与非氮化硅残留区域微观形貌及粗糙度
              发布时间:2019-11-14 浏览次数:1653
            • 石墨舟污染原因和改善方法 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能渡到wafer表面,造成小白点 特气管道残遇硅烷(浓度很低),随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。
              发布时间:2019-11-12 浏览次数:7359
            •   根据以上分析炉管粉尘污染大致分为如下几类:   1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒;   2.石墨舟舟片上?可去掉,或不可去掉小白点;   3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物(称为气流异常);   4.石墨舟舟片上雪花状漂浮物;
              发布时间:2019-11-12 浏览次数:1742
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